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    離子注入等離子蝕刻用石墨制品

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    【加工定制】離子注入和等離子蝕刻用石墨部件    離子注入用石墨,細顆粒高密度的石墨呈現出很強的抗腐蝕性,即使是在極其惡劣的工況下(如離子束轟擊或等離子體束)也是如此。由于離子束的原因,金屬部件暴露在離子注入設備中會造成高的損耗,故這時應用相應的石墨件來作屏蔽罩。上海弘竣實業有限公司采用德國西格里石墨,不僅能為各種離子注入機提供石墨屏蔽罩,且提供各種規格具有高耐腐蝕性

    1. 詳細信息

    【加工定制】離子注入和等離子蝕刻用石墨部件

     

       離子注入用石墨,細顆粒高密度的石墨呈現出很強的抗腐蝕性,即使是在極其惡劣的工況下(如離子束轟擊或等離子體束)也是如此。由于離子束的原因,金屬部件暴露在離子注入設備中會造成高的損耗,故這時應用相應的石墨件來作屏蔽罩。上海弘竣實業有限公司采用德國西格里石墨,不僅能為各種離子注入機提供石墨屏蔽罩,且提供各種規格具有高耐腐蝕性的高純度石墨電極及離子源。即使在離子轟擊或等離子等極限工作條件下,細粒、高密度石墨也不易受腐蝕。離子轟擊設備的金屬部件要接觸離子束,磨損嚴重,可使用合適的石墨擋板進行保護。上海弘竣實業有限公司不僅提供石墨擋板,還提供適用于各種注入機的電極和離子源,這些石墨產品都具有耐腐蝕和純度高的優點。

        為了滿足客戶的不同需求,我們上海弘竣實業有限公司還可根據客戶生產出不同規格的石墨件,全部采用精加工方式,保障了 石墨件的精度要求。

    等離子注入石墨件


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